GZO/AGZO靶材

GZO（掺镓氧化锌）与AGZO（铝掺杂氧化锌）靶材纯度≥4N、密度≥7.1，电阻率≤0.3×10⁻³Ω·cm，晶粒尺寸≤5μm，是低成本、高性能的透明导电氧化物方案，适用于光伏、触控与柔性电子镀膜。