精密陶瓷结构件

采用高纯度氧化铝、氧化锆等先进陶瓷，经精密成型与烧结工艺制造，具备卓越的耐腐蚀性与耐高温性。产品用于刻蚀机、PVD/CVD设备的腔室内衬、静电卡盘（ESC）及绝缘环等关键部件，保障半导体核心制造设备的稳定可靠运行。